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2025.12.10 (수)

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아이멕, 업계 최초로 극자외선 리소그래피를 사용해 웨이퍼 스케일 고체 나노포어 제작 성공

새로운 기술 혁신으로 확장성과 정밀도를 겸비한 생명 과학 및 의료 분야용 바이오 센서를 생산할 수 있게 되었다 루뱅, 벨기에, 2025년 12월 10일 -- 아이멕(Imec)이 300mm 웨이퍼에 극자외선 (EUV) 리소그래피 기술을 응용하여 업계 최초로 웨이퍼 스케일 고체 나노포어를 제작하는 데 성공했다. 이번 혁신 덕분에 실험 수준에 그쳤던 나노포어 기술을 바이오 센서, 유전체학, 단백질체학 분야에서 확장 방식의 플랫폼으로 활용할 수 있게 되었다. 나노포어는 유전체학 및 단백질체학 분야의 판도를 바꿀 기술로 주목받았지만, 지금까지 고체 나노포어는 미흡한 일관성과 통합 문제 탓에 대량 생산이 불가능했다. 아이멕의 이번 기술 혁신으로 CMOS와 호환되는 고속 바이오 센서 어레이를 양산할 수 있는 길이 열리면서 개인 맞춤 의학, 신속 진단, 분자 데이터 저장 분야의 발전에 탄력이 붙을 것으로 전망된다. 아이멕은 300mm 웨이퍼에 극자외선 리소그래피 기술을 응용해 나노포어 크기가 10nm에 불과하고 웨이퍼 전반에서 뛰어난 균일성을 보이는 웨이퍼 스케일을 제작하는 데 성공했다. 현재의 제작 공정을 더 개선하

아이멕, 업계 최초로 극자외선 리소그래피를 사용해 웨이퍼 스케일 고체 나노포어 제작 성공

새로운 기술 혁신으로 확장성과 정밀도를 겸비한 생명 과학 및 의료 분야용 바이오 센서를 생산할 수 있게 되었다 루뱅, 벨기에, 2025년 12월 10일 -- 아이멕(Imec)이 300mm 웨이퍼에 극자외선 (EUV) 리소그래피 기술을 응용하여 업계 최초로 웨이퍼 스케일 고체 나노포어를 제작하는 데 성공했다. 이번 혁신 덕분에 실험 수준에 그쳤던 나노포어 기술을 바이오 센서, 유전체학, 단백질체학 분야에서 확장 방식의 플랫폼으로 활용할 수 있게 되었다. 나노포어는 유전체학 및 단백질체학 분야의 판도를 바꿀 기술로 주목받았지만, 지금까지 고체 나노포어는 미흡한 일관성과 통합 문제 탓에 대량 생산이 불가능했다. 아이멕의 이번 기술 혁신으로 CMOS와 호환되는 고속 바이오 센서 어레이를 양산할 수 있는 길이 열리면서 개인 맞춤 의학, 신속 진단, 분자 데이터 저장 분야의 발전에 탄력이 붙을 것으로 전망된다. 아이멕은 300mm 웨이퍼에 극자외선 리소그래피 기술을 응용해 나노포어 크기가 10nm에 불과하고 웨이퍼 전반에서 뛰어난 균일성을 보이는 웨이퍼 스케일을 제작하는 데 성공했다. 현재의 제작 공정을 더 개선하